(1)最大法向载荷:低载 10mN,高载 10N(2)最大定位精度:±10nm;(3)纵向载荷分辨率≤1nN,横向载荷分辨率≤50nN(4)原位成像扫描尺寸范围:5×5μm~75×75μm(5)压痕载荷范围:低载0.2~10mN,高载 10mN~10N(6)压痕位移范围:低载<5μm,高载<90μm(7)划痕长度:低载<15μm,高载<2cm;(8) 探针类型:Berkovich及ConoSphere
纳米压痕,纳米划痕
无