系统总体指标 1.1 空间分辨率≤0.5μm；1.2可扫描样品的最大直径≥300mm;1.3支持多种扫描成像模式：DR，圆轨迹锥束CT，超视野锥束CT，偏置锥束CT。2. X射线源2.1 类型：开放式透射靶微焦点X射线源；2.2 管电压：20kV～160kV；2.3管电流：0.05mA～1mA；2.4最大靶功率：≥25W；2.5提供2年使用的灯丝耗材，即原装配套灯丝2盒。3 数字平板探测器：3.1 数字平板探测器。3.1.1 类型：非晶硅数字平板探测器；3.1.2 成像面积：244mm×195mm；3.1.3 像素矩阵：1920×1536；3.1.4 感光单元尺寸：127μm；3.1.5 动态范围：16bit；3.1.6具备校正功能：本底校正、增益校正。3.2高分辨显微光耦探测器系统：3.2.1 2048X2048像素，16bit；3.2.2 热电冷却-55℃；3.2.3 镜头：4X,10X,20X物镜。4.机械系统4.1样品台：4.1.1 3轴精密样品台，全电脑控制，XY平动台安装在旋转台之上4.1.2行程：X轴：40mm，Y轴：20mm，Z轴：100mm4.1.3 XYZ轴闭环分辨率≤100nm4.1.4重载：15kg 4.2高精度气浮转台：4.2.1台体材料：航空铝合金；4.2.2转角精度±3.0" 补偿后；4.2.3径向运动精度100nm；4.2.4轴向运动精度 100nm；4.2.5额定转速 45RPM；4.2.6转角分辨率 0.2 "。4.3 射线源、探测器：4.3.1 射线源运动行程：150mm；4.3.2 探测器X轴电机驱动运动行程：150mm；4.3.2 最大SDD≥800mm。5. 计算机系统
5.1数据采集计算机：i5四核处理器，内存8G，硬盘2TB，24寸液晶显示器，操作系统Windows 7
5.2图像重构工作站：i7四核处理器，内存64G， SSD 256G，硬盘3TB，24寸液晶显示器，操作系统Windows 7
6. 软件系统
6.1 图像采集软件
6.1.1控制及图像数据处理功能
-扫描系统由软件进行全自动控制
-自动计算调整样品旋转中心
-几何扫描参数获取功能，包括射线源距样品，射线源距探测器距离
-样品穿透率计算，为测试条件的选择提供依据
-根据扫描样品的几何位置数据及探测器类型自动计算当前所用分辨率
-可实现扫描系统空间位置自动标定
-扫描图像加减乘除等图像运算
-尺寸测量感兴趣区域
-可通过灰度直方图拉伸，突出显示感兴趣区域
6.1.2 多种扫描模式和扩展数据采集功能
-支持动态标清DR成像和静态高清图像DR成像
-支持螺旋轨迹、偏置、有限角、局部聚焦等多种模式扫描，实现细长物体、大物体、板状物、感兴趣区域等成像功能
-通过向导方式，辅助用户生成个性化数据采集协议
-通过脚本语言，支持用户编制个性化数据采集协议
-通过脚本语言，用户可自行编制个性化数据采集协议
-通过个性化数据采集协议，可实现用户多任务自动检测
-通过辅助工具，用户可对自行编制的各种个性化数据采集协议进行管理、查询、调用
6.1.3校正功能
-探测器单元对不同能量射线响应不一致的校正
-射线源锥束流强分布不均匀的校正
-采用探测器随机抖动的方式进行环状伪影的校正
6.2 3D图像重构软件
6.2.1具有解析法和自适应迭代法两种重建算法，具备GPU加速功能，图像矩阵1024×1024×768，解析算法重构时间1分钟内，自适应迭代重构时间3分钟内
6.2.2具有几何扫描参数获取功能，通过读取样品的扫描数据，可获取样品扫描过程中系统中射线源焦点、探测器、样品转台之间的所有物像位置关系参数
6.3 3D图像浏览和分析软件：具有三维渲染显示与任意截面剖切功能，可以进行三维MPR显示，生成三维图像旋转、平移、缩放、剖切等漫游视频
6.4影像数据库管理软件
6.4.1 影像数据存储功能：能够负载存储大量单组数据在20G以上的影像数据
6.4.2 影像数据的快速检索功能：定义检索条件，检索时间小于3秒
6.4.3 影像数据的上传、下载功能：系统进行耗时的大数据上传和下载时，出现任何情况的中断，能够支持断点续传
6.4.4 影响数据的快速预览功能：快速预览服务器上的数据图像，并支持图像的亮度、对比度调节及翻页功能
6.4.5 支持用户权限管理功能：管理员可添加用户、删除用户、编辑用户信息，不同的用户可设置不同的系统访问权限
6.4.6 支持硬盘存储路径动态配置：在添加硬盘、更换硬盘、移除硬盘、暂时移除硬盘等情况，服务器端能够适配硬盘环境的变更；
6.5 加拿大ORS原装分析可视化软件一套；
6.6 建模软件系统：支持球棒模型的建立，该技术是通过扫描及三维重构，将样品内部特征结构进行数字化建模，并基于该模型给出球棒的几何统计参数，如球的直径、棒的长度、配位数等信息。
7. 防护箱体
7.1天然大理石运动平台基座
7.2 X射线开启显示功能，门机联动安全锁
7.3 在距离箱体20mm的任何位置，所测射线剂量当量率小于1μSv/h
7.4 具有可视透明窗口，便于在设备运行过程中可以直接从窗口观察到样品情况

X射线超精密微纳米结构检测仪突破了传统无损成像技术因分辨率不够和微小结构难以观测而产生的局限性，具有高分辨、无损、透视、三维成像的功能，不会像传统实验引入人为缺陷，能够对形成的三维立体图像任意旋转观察，并可以做任意位置和方向的虚拟断层切片展示，并进行相应统计分析。系统测试效率高、对操作人员无伤害、方便快捷，后续还可结合3D打印技术、力学加载系统，有强大的拓展性和准动态观察功能。
利用该技术进行机械器件的定量观察与描述，研究并建立器件损伤的本构关系，能够定量研究各类器件原位载荷下的变形、损伤等细观机制。利用三维图像采集技术对器件进行三维可视化扫描分析，表征孔隙和裂缝力学机理、研究器件受力内部结构变化规律等，为机械加工等研究提供科学依据。

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