一 .超高分辨扫描电镜主机：
（1）分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤0.9nm@1kV（二次电子，无任何特
殊模式）， ≤1.2nm@500V。
（2）电子枪：肖特基热场发射电子枪。
（3）样品室：可容纳最大样品尺寸不小于200 mm，最大样品高度不小于60 mm。
（4）探测器：样品室内二次电子探测器，多象限背散射电子探测器，超高分辨
In-Lens二次电子探测器，样品室内红外CCD相机，环形STEM扫描透射探头。
（5）配置晶体有效面积高达100 mm2，超薄窗设计, 无需液氮冷却的能谱仪和等离子
清洗附件。
二．冷冻传输系统参数：
（1） 冷冻制备系统冷源：冷冻制备腔室和扫描电镜冷台、冷阱均采用过冷氮气气冷
方式；配置分体式安装的液氮杜瓦瓶组件；无需补充液氮的连续运行时间≥16h。
（2）高真空冷冻制备装置：制备腔室冷台温度范围：-190℃ ～ +100℃；温度稳定度
<1℃；具有样品断裂、升华、喷镀等功能。
（3）扫描电镜冷台及冷阱：BD兼容冷台：可达-190℃，温度稳定度<1℃；可兼容电镜样品台高达5KV反向电压，冷阱：-190℃或更低
具体技术参数以上传的技术参数为准。

（1）Be4～Cf98化学元素的微区成分定性、定量分析；
分析方法：*定量点分析；*定性点分析、线分析、面分析；
（2）材料表面形貌分析：二次电子像与背散射电子像。
（3）材料内部形貌分析：扫描透射成像（STEM）可得到材料透射明场像（BF）、暗场像（DF）、环形暗场像（ADF）、高角环形暗场像（HAADF）。
（4）冷冻传输系统可用于观察含水样品的表面形貌。该模式只能观察质厚衬度，无法观察晶格以及原子像。
（5） 光电关联系统，可实现样品同一位置的荧光显微分析和电子显微分析。

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