光谱范围：220 nm 到2200 nm，光谱重复性：≤ ±0.03 cm-1；共聚焦空间分辨率：≤0.5um（XY）；≤1.5um（Z）；600gr/mm刻线光栅，1800gr/mm刻线光栅；532 nm 固体激光器，功率100 mW；633 nm He-Ne激光器，功率17mW；400-700nm范围的偏振测量模块；超快速拉曼/PL成像模块，成像速率<10ms/光谱；显微冷热台, 工作温度范围-196至600°C；AFM扫描器扫描范围 100x100x15 µm,机动样品定位范围5X5 mm;顶部/侧向都配备照明系统、光学耦合部件，可用于同区域成像或TERS；AFM测试模式;接触模式，轻敲模式，非接触模式，侧向力模式，压电响应力模式，相位模式，磁力模式，扫描电容模式和静电力模式，开尔文模式等；物镜扫描器扫描范围30x30x15 µm，顶部和侧向激发光路及拉曼激光光斑精确定位；信号存取模块。

原子力－拉曼联用系统可以在纳米尺度提供样品形貌信息，从拉曼图像中获得的化学信息，结合纳米成像和化学分析可以对样品进行全面的表征。共焦拉曼光谱和成像可提供纳米材料在亚微米空间分辨率下的详细化学信息。AFM和其他SPM技术可提供分子级别分辨率下的形貌、力学、热能、电磁场和近场光学特性。AFM/Raman同区域成像测试可以连续或同时进行，AFM图和拉曼成像图完全重合，同时实现样品的物理和化学信息表征。TERS（或纳米拉曼）可以综合两种技术之优势：可获得空间分辨率低至2nm（一般低至10nm）的化学特异性拉曼光谱成像。

HR Evolution，长焦长光谱仪，焦长≥700mm，采用像差校正Czerny Turner全反射式消色差单级光谱仪；AIST SmartSPM 原子力显微镜，扫描器扫描范围 100x100x15 µm,机动样品定位范围5X5 mm；AFM Raman联用光学耦合部件，支持顶部和侧向激发光路及拉曼信号测量。