1.场发射电镜:肖特基场发射高亮电子枪;电压稳定度:≤ 1ppm/10min;亮度≥1.8 x 109 A/cm2 srad;电子枪束斑漂移:≤ 0.5/min;束斑最大电流:≥ 50 nA; 信息分辨率:0.12 nm;STEM分辨率:0.16 nm@200kV,具备BF/ABF/ADF/HAADF四个探头,能同时或者独立收集4个探头的信号成像,分辨率4K x 4K;STEM放大倍数300X-300MX;TEM和STEM切换后稳定时间小于30S。
2.双束电镜:高压分辨率:0.6@15kV, 低压分辨率:1.0nm@1kV; 电子着陆能量范围:20eV-30keV; 电子束束流:0.8pA-170nA; 液态Ga离子源、Ga离子束分辨率:2.5nm@30kV.
HRTEM; STEM; HAADF; EDS-mapping; SAED; iDPC,液态Ga离子源,全自动纳米机械手等
无
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