1、微区光谱波长检测范围:200-2100nm
2、微区光谱最小采样面积≤1um2
3、全谱扫描时间:最小4ms
4、显微镜光波长透过范围:200-2100nm
5、像素间距:≤0.45nm
6、含永久校准的可调节大小的多光斑系统:
6个不同尺寸取样光斑(每个物镜);第7个位置无可视光斑,作为成像用;检测范围下限≤0.7×0.7um2,所有光斑具有相同光谱分辨率。
7、结合多光斑及物镜系统使光谱采样面积到达0.7x0.7μm2~100x100μm2
取样面积1.4x1.4μm2 (52X物镜下) ,取样面积0.7x0.7μm2 (100x物镜下)
8、整体系统无外接光纤耦合,集成度高
9、仪器控制、光圈调节、成像、和光谱数据分析处理、薄膜厚度测量等所有软件功能都能集成与同一软件并兼容联用使用。
可实现不同温度下的微区透射、反射、荧光、偏振等光谱表征
无
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