点分辨率：0.23nm;线分辨率：0.14nm;加速
电压 ：200kV
放大倍数 ：50~1.5M
CCD 相机分辨率：1024×1024像素
X 射线能谱仪（Oxford X-Max）: 元素分析范围：B5~U92; 最小分析区域：10nm

基本功能 ：
（1）衍射衬度像：可获得衬度清晰的样品形貌和
材料内部的显微结构特征。
（2）高分辨电子显微图像 ： 可获得晶体的一维晶
格条纹像、二维晶格点阵像和原子结构像。
（3）电子衍射花样：可获得晶体不同取向的电子
衍射花样。
（4）X射线能谱：可对试样微小区域的成分作定
性和定量分析。
本仪器主要用于材料内部的显微结构分析和微区
成分分析，主要应用如下 ：
（1）物相鉴定：采用电子衍射花样和高分辨晶格
像或原子结构像相结合的方法，对未知物相进行研究判定，并可揭示原子分辨尺度上的显微结构细节，在一定条件下，可获得材料相变过程及显微结构
变化的信息。
（2）材料显微结构表征 ：如材料的形貌、尺寸、缺陷及取向关系等等。
（3）对纳米材料、薄膜材料等的结构研究具有特别的优势。
利用 X射线能谱对材料的微小区域进行定性及定量分析，把材料的结构研究和成分分析结合起来，有益于对材料的全面了解。

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