FIB分辨率优于5nm;显微分辨率优于1.2nm;最大FIB束流优于90nA;最大显微束流优于200nA;具备监控、切割、组装和三维重构连续操作功能
对样品监控、切割、组装和三维重构,为纳米器件制备提供技术支撑
无