1)直径为4英寸大小的样品台,平整度5微米
2)直径为8英寸的真空腔体,带高红外透射率,高可见光透射下沉观察窗;
3)6个探针臂接口
4)KF法兰接口,系统极限真空优于10^-5Torr
5)1400万像素松下传感器1/2.3寸
6)支持图像对比功能,可拍照,录像
7)视频显微镜,连续变倍比:7:1
8)同轴光纤照明器作为光源
9)可加装长工作距离金相物镜
10)探针臂X-Y-Z 方向的移动行程分别为50mm
11)双屏蔽三轴线缆
12)4 inch 样品台面
13)温度可控范围:80K~823K
原位真空变温电学测试
无
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